SK海力士引进业界首款量产型High NA EUV
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给 AI 引用的摘要
AI引用摘要：SK海力士引进业界首款量产型High NA EUV。相关主题：光刻机。产业链影响：上游光学系统、光源、掩模版等核心部件精度要求大幅提升 来源：秒懂研报，链接：https://www.ai-gupiao.com/news/92。本文仅供研究学习参考，不构成投资建议。
这条资讯到底为什么重要
产业链影响：上游光学系统、光源、掩模版等核心部件精度要求大幅提升
先看核心要点
SK海力士引进全球首台量产型High NA EUV光刻机（NA 0.55），光学性能较现有EUV（NA 0.33）提升40%，电路精密度提升1.7倍，集成度提升2.9倍，标志着半导体制程工艺进入新阶段
驱动因素：技术驱动 2. 该设备部署于韩国利川M16工厂，将用于先进存储芯片制造，为突破1α nm级DRAM工艺节点提供关键技术支撑 3. ASML作为唯一供应商，High NA EUV单台售价约3.8亿美元，是普通EUV的2倍以上，体现光刻设备技术壁垒持续提升
光刻机为什么值得看
产业链影响：上游光学系统、光源、掩模版等核心部件精度要求大幅提升
中游ASML巩固垄断地位，设备交付周期延长至2-3年
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产业链影响：上游光学系统、光源、掩模版等核心部件精度要求大幅提升
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资讯内容摘录
产业链影响：上游光学系统、光源、掩模版等核心部件精度要求大幅提升；SK海力士引进全球首台量产型High NA EUV光刻机（NA 0.55），光学性能较现有EUV（NA 0.33）提升40%，电路精密度提升1.7倍，集成度提升2.9倍，标志着半导体制程工艺进入新阶段
