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晶升股份自主研发大尺寸CVD SiC涂层成套设备完成交付
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据晶升股份消息，近日，晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户，标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展，为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。
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晶升股份自主研发大尺寸CVD SiC涂层成套设备完成交付，原始来源为财联社，发布时间为2026-08-25T14:52:00。据晶升股份消息，近日，晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户，标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展，为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。相关公司：晶升股份（688478）；相关主题：功率半导体与SiC。来源：主线罗盘，链接：https://www.ai-gupiao.com/news/94116。仅供研究学习参考，不构成投资建议。
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财联社
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